公告 真空蒸镀设备（SZTUWSJJ(TJPP)2500101）采购公告

：2025-06-25 18:04:52阅读量：

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项目名称

真空蒸镀设备

项目编号

SZTUWSJJ(TJPP)2500101





公示开始日期

2025-06-25 18:04:52

公示截止日期

2025-06-30 19:00:00





采购单位

深圳技术大学

付款方式

合同签订并收到发票后10个工作日内（不得超过10个工作日），支付合同总价30%的款项。验收合格后，采购人支付合同总价 70 %的款项





履约保证金



无履约保证金



（以保函方式或采购人(买方)可以接受的其他非现金形式提交，项目服务期满之后，经验收合格后，在30天内办理解除履约担保手续。）









联系人



中标后在我参与的项目中查看



联系电话



中标后在我参与的项目中查看







签约时间要求

成交后10工作日

到货时间要求

签约后120个自然日





预算





￥ 

420,000









供应商资质要求







; 

不接受联合体竞价，不允许分包

(必选)







; 

不同供应商的法定代表人、主要经营负责人、项目投标授权代表人、项目负责人、主要技术人员不得为同一人、属同一单位或者在同一单位缴纳社会保险；不同投标供应商的投标文件不得由同一单位或者同一人编制；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加本项目采购活动

(必选)







; 

在中华人民共和国境内注册的有合法经营资格的国内独立法人或其他组织；须具有独立法人资格及履行本项目的能力（提供法人或者其他组织的营业执照。依法不需申请营业执照的使用法定的登记注册证明文件扫描件）

(必选)













收货地址

新材料与新能源学院B2-B103



















采购清单

1











采购物品

采购数量

计量单位

所属分类





真空蒸镀设备

1

套

真空应用设备













品牌

立宁真空





品牌

久达真空





品牌

谱华科学仪器





预算



￥ 

420,000







是否进口



否





技术参数

1、 真空室蒸镀腔采用坚固耐用且抗腐蚀强强的SUS304不锈钢材质，尺寸满足基片数量要求。真空室各个方向配备衬板，以方便市场维护和更换。抽气口处设置防污装置。2、 蒸镀腔可与手套箱连接，可在手套箱中直接取放基片和添加镀料等操作。3、 真空抽气系统采用分子泵(抽速≥1300L/S)+机械泵(抽速≥30m3/h)组合。4、 腔体的极限真空为8x10-5Pa，在保护下重新抽真空可在15分钟内达到的真空度为5x10-4Pa。配置复合真空计，测量范围大气到1*10-5Pa.5、基片架可同时放置≥6个基片(尺寸32*26mm±1mm), 每个基片位均支持放置两个不同图形的掩模板，且掩膜和基片零间隙贴合。或放置≥1个210*210mm的大基片。每个基片位配备独立挡板，以满足不同厚度制备要求。基片架转速0-30转/分可控。6、蒸镀腔中配置≥4套有机蒸发源。最高温度可达800℃。每个蒸发源都独立配置挡板，可通过触摸屏控制开闭。每个蒸发源配置独立防雾罩，防止蒸发源间相互污染。配置2套有机蒸发电源，该电源运用PID 控温表进行温度调控，控温精度可达±1℃。温度调节操作可在触摸屏上完成，让操作人员能够精准掌控有机蒸发过程。7、蒸镀腔中配置≥3个金属蒸发源。1套金属蒸发电源，最大功率为≥1.6kW(电流200A，电压8V)，采用百分比功率控制恒流模式，无论是电源操作还是模式切换，都可在触摸屏上一键实现，全方位提升了设备的智能化操作体验。8、蒸镀均匀度≤±4%，蒸镀速率在0.5-10A/秒稳定可控，蒸镀速率波动≤±0.1A/秒。单片内膜厚匀性:士3%, 测试方法, 多点测量:n 个值相加/(n≥9)。基片总挡板，可气动控制，通过触摸屏操作。9、配四通道或四通道以上膜厚仪，≥4套水冷检测探头。





售后服务

质保期：1年，自货物验收合格之日起生效，质保期内无偿提供现场或线上售后服务;



















深圳技术大学







2025-06-25 18:04:52





















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